Az optikai mikroelektronikai tisztítási műszak meghatározása a szennyező anyagok, például a por részecskék, a káros levegő, a baktériumok stb. eltávolítása a levegőből egy adott téren belül, és a belső hőmérséklet, a nedvesség, a tisztaság, a belső nyomás, a légáramlás sebessége és a légáramlás elosztása, a zajrezgés és a világítás, a statikus elektromosság szabályozása egy adott igény tartományán belül, és a speciálisan tervezett zárt tér.
Az optikai mikroelektronikai tisztítási műszak, amelyet pormentes vagy tisztító szobáknak is neveznek, jelenleg elengedhetetlen fontos létesítmény a félvezetők, a precíziós gyártás, a folyékony kristálygyártás, az optikai gyártás, az áramképgyártás és a biokémia, az orvostudomány, az élelmiszergyártás és egyéb iparágak számára. Az elmúlt években a technológia innovációs fejlődésének köszönhetően a termékek nagy pontosságának és aprósításának igénye sürgősebb, mint például a nagyméretű integrált áramkör kutatási gyártása, a világ minden országában nagy jelentőséggel bír a tudományos és technológiai fejlődésben, míg vállalatunk tervezési koncepciója és építési technológiája vezető pozícióban van az iparban.
Az optikai mikroelektronikai tisztítás általában magában foglalja:
1. Tiszta termelési terület
2. tiszta segédszobák (beleértve a személyes tisztítási szobákat, anyagtisztítási szobákat és néhány nappali szobákat stb.)
3. menedzsment terület (beleértve az irodát, a munkát, az irányítást és a pihenést stb.)
4, berendezések területe (beleértve a tisztító légkondicionáló rendszer alkalmazások, elektromos szobák, magas tisztaságú víz és magas tisztaságú gáz szobák, hideg és hő berendezések szobák)
Optikai mikroelektronikai tisztítási technika tisztítási elve
A légáram → az első hatású tisztítás → a légkondicionáló → a középhatékony tisztítás → a szellőző → a csővezeték → a hatékony tisztítás a szellőnyitó → a szobába fújás → a porbaktériumok eltávolítása
Más részecskék → visszacsatlakozó szellőfüggöny → kezdeti hatású tisztítás Ismételje meg a fenti folyamatot, hogy elérje a tisztítási célt.
Optikai mikroelektronikai tisztítási műszaki tisztítási paraméterek
A levegőcsere száma: 100 000 fok ≥ 15 alkalommal; 10 000 fokozat ≥20 alkalommal; 1000-30 alkalommal. Nyomás különbség: fő műhely a szomszédos szobák ≥5Pa
Átlagos szélsebesség: 10 fok, 100 fok 0,3-0,5 m / s; hőmérséklet télen > 16 ℃; Nyáron 26°C; ingadozás ± 2 ℃.
hőmérséklet 45-65%; GMP por műhelyi páratartalom körülbelül 50%; Az elektronikai műhely páratartalma kissé magas a statikus elektromosság elkerülése érdekében.
Zaj ≤65dB (A); Az új szél kiegészítése a teljes szállítási levegő 10-30%-a; Világítás 300 LX.