KosztályHárom célú magnetron sputters

Modellszám:VTC-600-3HD

Termékek áttekintése:

VTC-600-3HD három célú magnetron sprayer IgenzuiAz újonnan kifejlesztett bevonatberendezések egyrétegű vagy többrétegű vaselektromos film, vezető film, ötvözet film, félvezető film, kerámia film, média film, optikai film, oxid film, kemény film, politetrafluor-etilén film stb. A hasonló berendezésekhez képest nemcsak széles körben alkalmazható, hanem a kis méretű, könnyű üzemeltetés előnyeivel rendelkezik, ideális berendezés a laboratóriumi anyagfilm előkészítéséhez, különösen a szilárd állapotú elektrolitok és az OLED laboratóriumi kutatásához.

Fő jellemzői:

• Többféle film készíthető, széles körben alkalmazható
• Kicsi méret, könnyű kezelés
• A vákuum kamra, a vákuum szivattyú összeállító gép moduláris tervezése, a vezérlő áramellátás osztott tervezése, amely a vásárlási igényeket a felhasználó valódi igényeinek megfelelően állíthatja be.
• A felhasználó tényleges igényeinek megfelelően kiválaszthatja az áramellátást, egy áramellátás több célpuskát vezérlhet, vagy több áramellátás egységes célpuskát vezérlhet

Magnetron sputterfej：

• A műszerbe három magnetron sputterfej van szerelve, és mindkettő vízhűtésű lapokkal rendelkezik.
• Az egyik sputterfej csatlakozik a rádiófrekvenciás áramellátáshoz, elsősorban sputterszigetelő célpont
• Egy másik sputterfej csatlakozik az egyenáramú áramellátáshoz, a fő sputtervezető célpont
• A célméret követelményei: átmérője 50 mm, vastagsága 0,1-5 mm (a célanyag különböző vastagsága miatt eltérő)
• Az RF kábel külön megrendelhető tartalékként
• A berendezés egy vízhűtőt tartalmaz a célfej hűtéséhez

Mintaszállító：

• Méret: φ140mm (zuiNagy elhelyezhető 4' alap)
• A minta hordozó 1 - 20 rpm sebességgel forgható (állítható)
• MintaszállítózuiMagas hőmérséklet 500 °C

Vákuum üreg：

• Vákuum üreg: φ300 mm × 300 mm H, rozsdamentes acélból készült
• Megfigyelési ablak: Φ100 mm
• Felső felületi nyitás segítségével könnyebbé teszi a célváltást

Gázáramlási vezérlő：

• A műszer belsejében 2 tömegáramlásmérő van telepítve, mérési tartomány: 0-100sccm
• A gázáramlási beállítások 6 hüvelykes érintőképernyőn működhetnek
• A rendszer működéséhez Ar gáz szükséges, és nyomáscsökkentő szelep van telepítve a tartályra (a berendezés nem tartalmaz)

Vákuum rendszer：

• GZK-103D molekuláris szivattyú rendszer (német gyártás)
• Szabványos 5E-5mbar határ 7.4E-6mbar

Film vastagságmérés：

• A műszerre egy precíziós kvarc vibrációs filmvastagságmérő van telepítve, amely valós idejben ellenőrzi a filmvastagságot 0,10 Å felbontással
• LED-es kijelző megjelenítése, valamint a készített film adatainak megadása

Termék mérete：

• L1300mm×W660mm H1200mm
• Nettó súly: 160 kg

KosztályHárom célú magnetron sputters

Modellszám:VTC-600-3HD

Minőségi tanúsítás:CE tanúsítás

Tippek használata：

• Ez a készülék egy DIY készülék, a paraméterek nagy változások a vásárlás előtt győződjön meg róla, hogy a telefon gondosan kommunikálni
• A jobb filmminőség érdekében magas tisztaságú gázokhoz kell jutni (javasolt > 5N)
• Győződjön meg arról, hogy a sputterfej, a célpont, az alaplap és a mintasztal tiszta a sputterbevonat előtt
• Ahhoz, hogy a vékony film és az alapanyag jól összekapcsolódjon, tisztítsa meg az alapanyag felületét a sputtering előtt
• Ultrahangos tisztítás (részletes paraméterek kattintson az alábbi képre): (1) aceton ultrahang (2) izopropanol ultrahang - eltávolítása a zsír (3) fúvó nitrogén szárítás (4) vákuum kemence eltávolítása a nedvesség.
• Plazmatisztítás: felületi durvasítás, felületi kémiai kötések aktiválása és a további szennyezőanyagok eltávolítása.
• Egy vékony pufferréteg (körülbelül 5 nm) készítése: például Gr, Ti, Mo, Ta, a fémek és ötvözetek tapadásának javítására alkalmazható.

Figyelmeztetés：

• Megjegyzés: A terméken belül magas feszültségű alkatrészek vannak telepítve, tilos magánszerelés, elektromos mozgó test
• A gáz tartályra nyomáscsökkentő szelepet kell telepíteni (a szabványos berendezés nem tartalmaz), hogy a gáz kimeneti nyomása 0,02 MPa-ra korlátozott legyenAz alábbiakban biztonságos használat
• A sputterfej csatlakozik a magas feszültséghez. A biztonság érdekében az üzemeltetőnek a készülék kikapcsolása előtt mintáznia és cserélni kell a célpontot.