Az új Pura Plus mérőműveket kifejezetten a wafer-ipar berendezések méretével és mutatóival kapcsolatos legújabb igényeinek megfelelően tervezték. A Pura Plus egy online, páratartalom-változó átadó, amelyet többszörösen szerelnek fel a félvezetőgyárakban, a gyártósor legvégső gázelátásához, hogy felügyeljék az ultratiszta inert gázok alkalmazását. Az üzemen belüli gázrendszerek bonyolult elosztása számos ágat, csomópontot és használati pontot foglal magában. Ezért a hagyományos nedvesség ellenőrzési pontok után a nedvesség kiszivárgása, a rendszer hatékonyságtalan tervezése, az alkatrészek hibája vagy a folyamat hibája okozza a nedvesség beszivárgását, ami befolyásolja a downstream használatot. Az elosztórendszerbe telepített Pura Plus gyors válaszadást biztosít 20 ppb nedvességszint alatt. Az 1 ppb változás válaszideje kevesebb, mint 1 perc. Kiemeltetők Gyors reagálás a ppb-szintű páratartalom változásaira Alacsony nedvességi ppb érzékenység (<1 ppb) Új koncepció a többpontú mérési telepítéshez Alacsony karbantartási követelmények Jellámpás állapotjelzés Figyelmeztetési és riasztási pontok beállítása Modbus hálózati kompatibilitás Többcsatornás szoftver a távvezérlő felülethez (UHP) Csővezeték vizsgálata ultratiszta gázokban
Műszaki mutatók
Reakciós sebesség < 1 perc 20 ppb páratartalom 1 ppb válaszidő Nedvességmérés 1 ppb és 20 000 ppm között Nyomás tartomány 0-10 bar között nyomásellenállás 300 bár Szzivárgási tesztek 0-9 mbar l/s Munkaáramlási tartomány 1 ~ 10 l / perc Működési hőmérséklet 5 ~ 40 ° C tárolási hőmérséklet 30 ~ 70 ° C áramellátás 20 ~ 28 V egyensúlyi Energiafogyasztás 5 W maximális Külső biztonsági osztály 500 mA gyors olvadás adatkimenet Modbus ASCII két vezetékes RS485 Figyelmeztetés és riasztási kimenet 2 út Maximális feszültség 40 V egyensúlyi Maximális áram 100 mA A gázokkal érintkező anyagok Ház anyaga Rozsdamentes acél AISI 316L, belső felület elektromos csiszolása <10 Ra Érzékelőszerkezet Alumínium-oxid elektrolit, felső aranyozott védő réteg, alsó alumínium réteg Belső térfogat 4,4 cm³ Súly 450 g A légúti csatlakozó 1/4' méretű VCR Elektromos interfész 9 tű D-típusú m csatlakozó Elektromágneses kompatibilitás EN50081-2 és EN50082-2