Kapcsolódó paraméterek:
Projektek | Leírás |
SE felbontás | 3.0nm (30kV), Magas vákuum mód / 10nm (3kV), nagy vákuum mód |
BSE felbontás | 4.0nm (30kV), Alacsony vákuum mód |
Nagyosítás | x5 ~ x300,000 |
Gyorsított feszültség | 0.3 ~ 30 kV |
Alacsony vákuum tartomány | 6 ~ 270 Pa |
Maximális mintameret | átmérő 200mm |
mintasztal | I típus II típus |
X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
R | 360o 360o |
T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
Maximális minta magassága | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
meghajtó típusa | kézi öttengelyes motorhajtás |
Lámpák | Pre-párosítás középső wolfram vezeték |
Objektív fénysáv | Távolítható 4 lyukas objektív fénysárok |
Pisztoly nyomás | Fix arányos eltérés, manuális eltérés és automatikus 4 eltérés |
Érzékelő | Sekundáris elektronikus detektor Nagy érzékenységű félvezető hátsó szétszóró elektronikus detektor |
Elhelyezés elemzése | WD=10mm, TOA=35o |
vezérlés | Egér, billentyűzet, kézi gombok |
Automatikus beállítás | Automatikus vezeték telítettség, Automatikus 4 偏nyomás, Automatikus puska párosítás, Automatikus sugaráram beállítása, Automatikus tengely összekapcsolása, Automatikus fókusz, Automatikus fényesség-kontraszt |
Részletes leírás
1. Az S-3400N erőteljes automatikus funkciókkal rendelkezik, beleértve az automatikus szál telítettséget, a 4 偏nyomást, az automatikus pisztolypárokat, az automatikus sugaráram beállítását,
Automatikus összekapcsolási tengely Automatikus fókusz és eltávolítás, Automatikus fényesség kontraszt stb.
3 kV alacsony gyorsulási feszültség esetén 10 nm felbontás biztosított.
3. Új típusú 5 osztályú, magas érzékenységű félvezető típusú hátsó szétszóró szonda.
4. Az S-3400N II típus öttengelyes motorasztallal rendelkezik, a lejtőszög akár -20 fok ~ + 90 fok, minta akár 80 mm.
Az elemző mintakészletek egyidejűleg EDX, WDX és EBSD telepíthetők.
6. A vákuumrendszer turbomolekuláris szivattyúkat használ, tiszta és hatékony