URE-2000/17 típusú ultraibolya mélységű fénygravátor műszaki jellemzői:
kétféle látási mezőmikroszkóp alkalmazása; A labda tál egyenletes, egylapos gépvezérlés, érintőkapcsoló, kényelmes kezelés, gyakorlati.

1Műszaki paraméterek

lExpozíciós terület:4hüvelyk

lExpozíciós hullámhossz:365nm

lFelbontás:1.5mm(vastagság2 mma ragasztó)

lPontosság:±1mm

lMask Sample teljes mozgási tartomány:X：15mm;Y:15mm

lMask mérete:2.5hüvelyk,3hüvelyk,4hüvelyk,5hüvelyk

lMéret: átmérőf15mm--f100mm

vastagság0.1mm--6mm(Kibővíthető15mm)

lExpozíciós mód: időzítés (visszaszámlálási mód) és meghatározott dózis

lVilágítási egyenlőtlenség: 5%（f100mmtartomány)

lKétféle látási mező igazítási mikroszkóp: mindkét szemüvegen keresztülvizuálisIgazítás, áthaladható isCCD+Kijelző igazítás, optikai kép, optikai maximális sokszoros400sokszor, optikai+Elektronikus nagyítás800Többszörös

Három tárgypár:4sokszor,10sokszor,20Többszörös

Szemüveg három pár:10sokszor,16sokszor,20Többszörös

lMaszk viszonyítva minta mozgási menet:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6fok

lhiganylámpa teljesítmény:200W(közvetlen áram)

lExpozíciós energia sűrűsége:6mW/cm

2A külső méret:650mm(Hosszú)?600mm(szélesség)?900mm(magas)

3Konfiguráció

（1(Expozíciós fej)

l200WImportált egyenáramú magasnyomású higanylámpák(Osram Németország)

lXYZhigany lámpa szabályozó

lOptikai rendszerek

lHűtőventilátor

（2(Állítás műhely

lMask demo teljes mozgás tábla

lMaszk minta relatív mozgás asztal

lForgatóasztal

lMinta kiegyenlítő szerv,kézi

lA minta fókuszálási mechanizmus, manuális

lStúdió3egy (f50mm、?75mm、?100mm）

lMaszk4egy (2.5hüvelyk,3hüvelyk,4hüvelyk,5hüvelyk)

lMask húzó felfelé-le szerkezet

（3(Mikroszkóp beállítása)

lFényforrás (kiegészítők)2Csak) az áramellátás

lKétféle szem kétféle látási mező igazítási mikroszkóp

lSzemüveg3Igen.10sokszor,16sokszor,20sokszor, összesen6egy)

lObjektív3Igen.4sokszor,10sokszor,20sokszor, összesen6egy)

lCCD(Tajvan)

l21hüvelykes folyékony kristályos kijelző

（4Elektronikus vezérlési rendszer

lA higanylámpa áramellátást indít(200WÁtlagos higanylámpa)

lEgyszerű vezérlőrendszer

lVezérlő ház

（5Pneumatikus rendszer

lHengerek, elektromágneses szelepek, nyomáscsökkentő szelepek, pneumatikus kapcsolók stb.

lElektromágneses szelepmeghajtó

lPneumatikus műszerek

（6Egyéb mellékletek

lVákuumszivattyú 1

lCsővezeték

（7Műszaki adatok

lHasználati karbantartási útmutató

lMikroszkóp használati útmutató