1Műszaki jellemzők

lNagy nagyítási sebességű kétféles látóterű mikroszkóp és22hüvelykes széles képernyős LCD kijelző, miközben megfigyeli a igazítási folyamat, és kínálUSBkivitel; Nagy pontosságú igazítás, expozíciós eredmények észlelése, expozíciós eredmények és kényelmes tárolás

lA visszafordított világítás segítségével a higanylámpa cseréje kényelmesebb, a hőhűtés és a szivárgás elleni fény jobb

lKiállítási és expozíciós szintek kettős állomás munka, kettős állomás automatikus váltás

lBeágyazott számítógép használata+Érintőképernyő, kényelmesebb és divatosabb

lA felvétel és a verzió nagyon kényelmes, nagy automatizálási fok, egyszerű kezelés. Tudományos kutatás (jó megbízhatóság, könnyű bemutatás) és gyár(Hatékonyság)Különösen alkalmas

2Műszaki paraméterek

lExpozíciós terület:100mm×100mm(frissíthető6hüvelyk)

lExpozíciós hullámhossz:365nm

lFelbontás:≤1mm(vastagság1.5 mma ragasztó)

lPontosság:±0.6mm

lA mikroszkóp szkennelőasztal mozgási tartománya:X：10mm;Y:10mm

lMask mérete:2.5hüvelyk,3hüvelyk,4hüvelyk,5hüvelyk

lMéret: átmérőf15mm--f100mm(Különböző szabálytalanságok)

vastagság0.1mm--6mm

lExpozíciós mód: időzítés (visszaszámlálási mód) és meghatározott dózis

lVákuum érintkezési expozíció, kemény érintkezési expozícióFényNégy funkció: nyomásbeli expozíció és közeli expozíció

lVilágítási egyenlőtlenség: 3%（f100mmtartomány)

lKétféle látási mező igazítási mikroszkóp: mindkét szemüvegen keresztülvizuálisIgazítás, áthaladható isCCD+Kijelző igazítás, optikai kép, optikai maximális sokszoros400sokszor, optikai+Elektronikus nagyítás800Többszörös

Három tárgypár:4sokszor,10sokszor,20Többszörös

Szemüveg három pár:10sokszor,16sokszor,20Többszörös

lAz érzékelő által biztosított érintkezési nyomás kiegyenlítése

lDigitális beállítás igazítási közönségek és közönségek

lNyomtatási modul interfész és közeli modul interfész

lMaszk viszonyítva minta mozgási menet:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lMaximális fókusz vastagság:400mm（SU8ragasztó, a felhasználó által biztosított vizsgálati feltételek)

lFényforrás párhuzamossága:3?

lExpozíciós energia sűrűsége:>25mW/cm2,Világítási hőmérséklet<35?C

lEgyrétegű expozíció egy kattintással

lBalloon lebegő+Három karm lapos

lhiganylámpa teljesítmény:350W(közvetlen áram,Importálás）

3A külső méret:1400mm(Hosszú)?900mm(szélesség)?1500mm(magas)

4Konfiguráció

（1(Expozíciós fej)

lHideg fényű ellipszkóp

l350WImportált egyenáramú magasnyomású higanylámpák(Osram Németország)

lXYZhigany lámpa szabályozó

lHűtőventilátor

lOptikai rendszer: rögzített fénysáv, változó fénysáv, zár, közvetlen tükör1Közvetlen tükör2légy szem lencse csoport (79lencse),iVonalszűrők, tértükrök, hideg fénytükrök1tükör,2

（2(Állítás műhely

lFényképező alap

lÁllomásváltó asztal (henger)

lMask demo teljes mozgás tábla

lMaszk minta relatív mozgás asztal

lForgatóasztal

lMinta kiegyenlítő szerv,3 Automatikus befejezés

lSample fókusz mechanizmus, motor automatikus beállítás

lAz alaplap kivonható felfelé-le szerve

lStúdió4Egy:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(Felhasználó igénye szerint csökkenthető)

lMaszk4Egy:2.5hüvelyk,3hüvelyk,4hüvelyk,5hüvelyk (a felhasználó igénye szerint csökkenthető)

lA mintavévő felfelé-le szerv

（3(Mikroszkóp beállítása)

lfényforrás, áramellátás

lKétféle szem kétféle látási mező igazítási mikroszkóp

lSzemüveg3Igen.10sokszor,16sokszor,20sokszor, összesen6egy)

lObjektív3Igen.4sokszor,10sokszor,20sokszor, összesen6egy)

lCCDirányítási rendszer,22hüvelykes folyékony kristályos kijelző

（4Elektronikus vezérlési rendszer

lA higanylámpa áramellátást indít(350WÁtlagos higanylámpa)

lEgyszerű vezérlőrendszer

lVezérlőpanel

lVezérlő asztal

（5Pneumatikus rendszer

lHengerek, elektromágneses szelepek, nyomáscsökkentő szelepek, pneumatikus kapcsolók stb.

lElektromágneses szelepmeghajtó

lPneumatikus műszerek

（6Egyéb mellékletek

lVákuumszivattyú 1

lEgy légkompresszor

lKapcsolódó csatornák

（7Műszaki adatok

lHasználati karbantartási útmutató

lTermékvizsgálati tanúsítványok